另辟蹊径 向“芯”而行|新型工业化·链上新突破

2024/6/3 19:53:19    来源：河南日报客户端

河南把壮大“7+28+N”链群作为推进新型工业化的战略支撑。经过持续推进，新技术、新产品、新装备、新业态、新伙伴、新力量不断涌现，《河南新闻联播》今起推出系列报道【链上新突破】，展现产业链群的高质量发展。第一季关注智能传感器和半导体产业链，先来看看这条链上有什么新的技术突破。

这是光刻机，是生产芯片最核心的设备，从它的价值来说，等同于一架大型客机，（支出10亿元）。很长一段时间国内无法自主生产。就好比是把电路图缩印到晶圆这张“相纸”上，所以光刻机的技术门槛堪比登天。

河南广播电视台大象新闻记者 胡冰冰：给你个电路图，把它画到一张A4纸上，很容易，如果要画到一粒沙子上，就很难了，但如果把这粒沙子放到一架高速飞行的飞机挡风玻璃上，让你开着另外一架飞机一边追一边画，还不能出错，是不是觉得不可能？这就是光刻机所需要的极端精度操作双工作平台。

在超高精度制约下，双工作平台中控制稳定性和准确性的直线电机组成了最核心的耗材。既然做不出完整的光刻机，就从最关键的核心零部件之一直线电机入手，以重点突破带动全面提升。客户出题，企业接招，以制造半导体核心原材料在行业崭露头角的东微电子，接了份极具挑战的千万级订单。

河南东微电子材料有限公司 首席工程师 赵泽良 : 客户是没有图纸给你的，你要通过返品，把它所有的参数给推导出来，再测量出来。这样的产品在光刻机里面应用，我们是唯一的一家，也是第一家。

通过接单——研发——成果转化产品，仅用了半年，东微电子就攻克了芯片用高端靶材，控制协议数据导线这些棘手痛点。现在，研发光刻机用核心耗材，实现各种关键零部件国产化替代，就能逐渐掰开卡住半导体行业的“手指”。

河南东微电子材料有限公司 研发工程师 李心然 :我们独创的熔炼铸片，氢碎制粉等工艺（制备）钕铁硼系磁铁，大幅度提高直线电机的整体磁场强度和实用的稳定性。

河南东微电子材料有限公司 首席工程师 赵泽良 :客户提需求，我们来做研发，然后做好产品跟客户去验证，验证通过了，客户会下大量的批量的订单给我们，通过这种模式，已经达成了几十项的（零部件）国产化，可以把卡脖子的问题的一步一步分解了。

放眼全省，像这样的技术突破很多：在省科学院，着力突破芯片设计、版图等方面关键核心技术难题，力争最短时间实现 3D-XRAM存储器芯片在河南的产业化。

在平顶山，中科瑞景电子特气氧化亚氮技术、产能国内领先。

在南阳，率先推出了新一代高端热释电红外传感器。

通过新技术带动，越来越多的从0到1、从1到100的跨越在智能传感器和半导体产业链上迸发。

 【记者观察】从0到1是突破，从1到N是发展。“从无到有”需要大胆开拓，而“从有到优”更需要深耕与创新。从东微电子的直线电机技术，到全省范围内多项技术创新的涌现，河南正以“人一之我十之”的拼劲儿，开拓和深耕新技术。推进中国式现代化建设河南实践，需要持之以恒地用好科技创新这把金钥匙打开更多新技术的大门，让高质量发展的道路越来越宽。

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