多氟多一项目荣获河南省科学技术进步奖二等奖

2024/12/24 9:14:53    来源：焦作日报

　　12月9日，河南省科学技术奖励大会在郑州隆重举行，大会对2024年度河南省科学技术杰出贡献奖、科学技术合作奖和自然科学奖、技术发明奖、科学技术进步奖等343项成果进行表彰。多氟多“集成电路用高纯氢氟酸关键技术及装备开发”项目荣获河南省科学技术进步奖二等奖。

　　据了解，多氟多依靠科技创新攻克了多项“卡脖子”技术，支撑行业技术迭代和产品升级。此次获奖项目是多氟多联合郑州大学，共同开发“副产氟硅酸—无水氟化氢—高纯氢氟酸”的标准化创新生产工艺体系，在深度除杂、分离纯化、质量控制、特种装备、分析检测等方面取得了重大创新，形成了具有自主知识产权的成套专利技术，助推我国电子信息产业发展。

（记者杜笠）

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